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產品特色
．集成 XY 平台，內部採用正交設計
．平面度極佳，平直度和平整度達微米級
．薄型三板設計，可減少堆疊誤差並提高剛度
．高效、非齒槽線性電機
．線性編碼器，可實現奈米級 MIM 和重覆性
．平面度極佳，平直度和平整度達微米級
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