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微米光学生长的DUV 准分子等级氟化钙（CaF₂）晶体在深紫外波段表现卓越，其紫外透过率高，尤其在 193nm、248nm 准分子激光波长下透光性能优异，光能损耗极低。材料具备高激光耐久性，可承受强能量激光长期辐照而不易损伤，同时折射率均匀性高、应力双折射低，适合加工为透镜、棱镜等元件，是半导体光刻、激光精密加工等领域的关键光学材料。
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