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DIAMANTA 真空系統專為在矽和鍺基材上沉積耐磨類鑽石碳 (DLC) 塗層而設計。 DLC 塗層在 3-5 μm 和 7-14 μm 的紅外線範圍內具有抗反射性。
此沉積方法是利用離子束源的等離子體激發下，從氣相中沉積碳虞基材上。
此沉積方法是利用離子束源的等離子體激發下，從氣相中沉積碳虞基材上。
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