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光學密度掃描（Optical Density, OD）是一種專門用在量測1um以下厚度的超薄鍍膜技術，利用超高穩定度的光學量測系統，推算材料的的吸收係數以及吸收厚度，為非接觸、非侵入式的影像解析技術。
OD光學密度掃描技術，是少數可以達到奈米等級解析度的薄膜厚度量測方式，非常適合應用於半導體薄膜製程或光學元件精密鍍膜領域，以及超薄光阻的品質檢測與製程控制...等運用，是當前精密量測的關鍵技術之一。
OD光學密度掃描技術，是少數可以達到奈米等級解析度的薄膜厚度量測方式，非常適合應用於半導體薄膜製程或光學元件精密鍍膜領域，以及超薄光阻的品質檢測與製程控制...等運用，是當前精密量測的關鍵技術之一。
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